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为了能够更好的应用设备,真空泵的常识你一定得记住了!

对于专业人员来讲,真空泵设备的使用是很简单的,但是对于新手而言还是具有一定困难的,不是说操作设备时困难,而是当设备出现问题时,会不知如何处理,或者操作设备时总会忽略掉一些小细节,从而影响到设备的正常运行,所以具需要具备一定的常识了。为了能够更好的应用设备,真空泵的常识你一定得记住了!

一、选用真空泵时,需要注意的事项
1、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
3、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
4、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
5、真空泵的价格、运转及维修费用。
6、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
7、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
9、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

二、真空泵正常运转使用时,每三天对以下内容进行一次点检:
1、泵油是否在游标范围以内
2、泵油是否有变黄变黑、混浊现象
3、声音是否出现异响
4、真空泵运行时是否出现漏油

三、维修保养检测须知
1、油位
在泵运转的情况下核对油位,其zui低油位应在油窗的1/4高度处,其zui高油位应在油窗3/4高度处,发现油量不足应及时加油,加油时应停泵。
2、油的清洁度
每周一次停泵检查油的污染情况,可以从油的颜色(变为深黄色时需换油)和粘度(过于粘稠时需换油)来判断是否应该换油,应该记住必须在泵热的时候停泵换油,为此,换油之前泵必须至少运转15分钟,然后停泵,将油放尽,如果油被严重污染则在脏油被放尽后,需开动泵,并在吸气口缓缓注入新油,运转10分钟,然后再放掉油,如有油仍然脏,可重复上述过程,直至放出的油清洁为止。
3、吸气口滤网
吸气口的金属丝网是用来防止外来尘粒进入泵体,此滤网应随时保持清洁,避免杜塞而引起泵的抽速下降。
4、排气过滤网
排气过滤器的寿命取决于泵的使用情况,如果泵被使用在清洁的气体中,则可根据排气口有无烟雾来判断是否应该调换排气过滤器,在通常情况下,每年应更换一次,如果泵被使用在脏的气体中,则应缩短更换周期。
5、贮藏
如果泵长期停止使用,则应将油放尽,并彻底地清洗泵然后注入需要数量的清洁油。封闭进气口以防止灰尘进入。

四、操作须知
1、真空泵在长时间运转中产生高温(40度-80度)。因此操作或刚停止运行后,在电机和泵体冷却到正常温度以前,不能触摸表面
2、工作时发生紧急情况,立即关闭总电源后保修解决
3、设备若异常应立即停止运行,禁止强灌,持续带病工作
4、非维修人员严禁拆卸真空泵零部件
5、维护保养设备所使用的布条碎布等集中放置到规定的堆放地点,防止杂物进入泵内。

五、修复时表面的处理步骤
1、用高压水将叶片冲洗干净
2、对设备磨损严重部位选用与设备基材同材质。
3、脱脂、除潮处理:用氧气乙炔将火焰调整到10CM长,以5cm/min的速度,使火焰反复均匀烘烤工件表面,去除工件表面的油脂和潮气;
4、喷砂除锈:去除工件表面的氧化层,目视检查,喷砂面可见均匀的金属本色。喷砂处理完的工件不允许用带油脂手套直接接触喷砂面,喷砂处理后工件要注意防潮。对不需要处理的部分,做好遮盖保护。

注意:一般真空泵设备的操作都比较简单,大多正常生产过程中都不需要过多的人为操作,操作人员如果发现真空泵有异常状况,为防止发生事故,应立即切断电源,及时报修。使用过程中,应避免日光直射,远离热源体。日常工作中应做到每日点检保养设备,保持无灰尘、无杂物,防止杂物进入泵内。

 
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